摘要:本文提出了一种基于3D打印透镜封装的宽带太赫兹(THz)准光探测器, 可覆盖220 GHz和340 GHz两个典型大气窗口. 该探测器由天线耦合探测芯片和3D打印透镜组成. 天线耦合探测芯片通过多层介质衬底封装, 肖特基二极管直接集成在片上天线的馈电端口. 片上集成的平面蝶形天线图案刻蚀在石英基底上, 工作频率范围为201–405 GHz, 兼具辐射器与射频(RF)扼流的功能. 该天线引入容性负载环路(CLL)以拓展工作带宽, 同时基本保持整体尺寸不变. 此外, 设计了高阻抗折叠的低频(LF)引线, 以实现有效的信号隔离和辐射耦合特性. 提出了一种低成本, 轻量化的3D打印透镜, 该透镜与埋置于多层介质层压板中的金属化反射器相结合, 实现天线定向辐射并增强整体结构的机械稳定性. 该探测器在200–230 GHz范围内的最大电压响应度为2200 V/W, 在320–350 GHz范围内的最大电压响应度为1885 V/W, 实测辐射方向图与仿真结果表现出较好的一致性.