3- 中红外偏振无关且CMOS兼容的石墨烯调制器
投稿时间:2020-07-28  修订日期:2021-04-29  点此下载全文
引用本文:陆荣国,林瑞,沈黎明,蔡松炜,王玉姣,陈进湛,杨忠华,吕江泊,周勇,王小菊,刘永.3- 中红外偏振无关且CMOS兼容的石墨烯调制器[J].红外与毫米波学报,2021,40(3):297~301].LU Rong-Guo,LIN Rui,SHEN Li-Ming,CAI Song-Wei,WANG Yu-Jiao,CHEN Jin-Zhan,YANG Zhong-Hua,LYU Jiang-Bo,ZHOU Yong,WANG Xiao-Ju,LIU Yong.3- mid-infrared polarization-independent and CMOS-compatible graphene modulator[J].J.Infrared Millim.Waves,2021,40(3):297~301.]
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陆荣国 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054 lurongguo@uestc.edu.cn 
林瑞 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054 1245719284@qq.com 
沈黎明 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
蔡松炜 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
王玉姣 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
陈进湛 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
杨忠华 重庆微电子中心重庆 401332  
吕江泊 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
周勇 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
王小菊 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
刘永 电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电科学与工程学院电子科技大学四川 成都 610054  
中文摘要:文章提出了一种3-中红外波段偏振无关且CMOS兼容的石墨烯调制器,器件主要包括两部分:模式转换结构及石墨烯调制器。该调制器不仅满足于CMOS兼容的要求,而且能够实现基膜的偏振无关调制。仿真结果表明该调制器在2.95 到3.05 的中红外波段能够实现高于20 dB的消光比,TE和TM模式的插入损耗都低于1.3 dB,其偏振相关损耗低于1.09 dB。通过计算,当器件长度为420 ,能够获得高达9.47 GHz的3 dB带宽。
中文关键词:石墨烯调制器  偏振无关  模式转换  中红外
 
3- mid-infrared polarization-independent and CMOS-compatible graphene modulator
Abstract:This paper proposes a 3- mid-infrared band polarization-independent and CMOS-compatible graphene modulator, which mainly includes two parts: the mode conversion structure and the graphene modulator. This modulator not only fulfills the requirement of compatibility with CMOS, but also can achieve polarization-independent modulation of the fundamental mode. Simulation results show that this modulator can achieve an extinction ratio(ER) higher than 20 dB in the mid-infrared band from 2.95 to 3.05 , the insert loss for both TE and TM modes are less than 1.3 dB, and polarization-dependent loss is less than 1.09 dB. Through the calculation, the 3 dB bandwidth up to 9.47 GHz can be obtained when the length of the device is 420 .
keywords:graphene modulator  polarization-independent  mode conversion  mid-infrared
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《红外与毫米波学报》编辑部