1.中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，动态测试技术山西省重点实验室，山西 太原 030051;2.中科院学院微电子研究所 智能感知研发中心，北京 100029;3.江苏创芯海微科技有限公司，江苏 无锡 214001;4.山西大学 量子光学与光量子器件国家重点实验室，山西 太原 030006
TN216
国家自然科学基金 61771467 51425505 51935011;中国科学院青年创新促进会 2018153;山西省“1331工程”重点学科建设基金，广东省重点领域研发计划项目 2019B010117001国家自然科学基金(No. 61771467, 51425505 ，51935011)，中国科学院青年创新促进会(2018153),山西省“1331工程”重点学科建设基金，广东省重点领域研发计划项目（项目号：2019B010117001）
1.North University of China， Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement， Ministry of Education， Shanxi Provincial Key Laboratory of Dynamic Testing Technology， Taiyuan 030051， China;2.Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences， Beijing 100029， China;3.Advanced Sensing Department， Wuxi Internet of Things Innovation Center Co. Ltd.， Wuxi 214001， China;4.State key laboratory of Quantum Optics and Quantum Optics Devices， Shanxi University， Taiyuan 030006， China
National Natural Science Foundation of China 61771467 51425505 51935011;Youth Innovation Promotion Association, Chinese Academy of Sciences 2018153;Fund for Shanxi “1331 Project” Key Subject Construction, High Technology Research and Development Project of Guangdong 2019B010117001Supported by National Natural Science Foundation of China (Grant No. 61771467, 51425505 and 51935011), Youth Innovation Promotion Association, Chinese Academy of Sciences (Grant No. 2018153), and Fund for Shanxi “1331 Project” Key Subject Construction, High Technology Research and Development Project of Guangdong (Grant No. 2019B010117001)
张琛琛,毛海央,白乐乐,熊继军,王玮冰,陈大鹏. MEMS红外探测器响应时间测量方法研究[J].红外与毫米波学报,2020,39(5):621~627]. ZHANG Chen-Chen, MAO Hai-Yang, BAI Le-Le, XIONG Ji-Jun, WANG Wei-Bing, CHEN Da-Peng. A response time measurement method For MEMS IR Detectors[J]. J. Infrared Millim. Waves,2020,39(5):621~627.]
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