InGaAs/InP界面控制对InGaAs薄膜电学和光学性质的影响
投稿时间:2019-04-17  修订日期:2019-11-19  点此下载全文
引用本文:郑文龙,张亚光,顾溢,李宝宝,陈泽中,陈平平.InGaAs/InP界面控制对InGaAs薄膜电学和光学性质的影响[J].红外与毫米波学报,2019,38(6):751~757].ZHENG Wen-Long,ZHANG Ya-Guang,GU Yi,LI Bao-Bao,CHEN Ze-Zhong,CHEN Ping-Ping.Effects of InGaAs/InP interface control on the electrical and optical properties of InGaAs films[J].J.Infrared Millim.Waves,2019,38(6):751~757.]
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郑文龙 上海理工大学 材料科学与工程学院上海 200093
中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室上海 200083 
200083
张亚光 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术联合国家重点实验室上海
200083 
顾溢  
李宝宝 上海理工大学 材料科学与工程学院上海 200093
中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室上海 200083 
陈泽中 上海理工大学 材料科学与工程学院上海 200093 
陈平平 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室上海 200083 
基金项目:国家自然科学基金 11634009;国家基础研究重点研究计划 2016YFB0402401 2016YFB0402404国家自然科学基金(11634009),国家基础研究重点研究计划(2016YFB0402401,2016YFB0402404)
中文摘要:研究了全固态源分子束外延(MBE)生长InGaAs/InP异质结界面扩散对 InGaAs外延薄膜电学和光学性质的影响.通过X射线衍射、变温霍尔测试和变温光致发光等方法对InGaAs薄膜样品进行细致研究.发现在InGaAs/InP界面之间插入一层利用As4生长的InGaAs过渡层,能够显著改善上层InGaAs(利用As2生长)外延薄膜的电学性能,其低温迁移率显著提高.同时荧光峰反常蓝移动消失,光学性质有所改善.研究表明利用As4 生长InGaAs过渡层,可显著降低As在InP中反常扩散,获得陡峭的InGaAs/InP界面,从而提高InGaAs 材料电学和光学性能.
中文关键词:InGaAs  界面控制  迁移率  光致发光
 
Effects of InGaAs/InP interface control on the electrical and optical properties of InGaAs films
Abstract:The effects of interfacial diffusion of InGaAs/InP heterojunction on the electrical and optical properties of InGaAs epitaxial films grown by all-solid source molecular beam epitaxy (MBE) are investigated. The InGaAs thin films are studied by X-ray diffraction, variable temperature Hall and photoluminescence (PL) measurements. It is found that inserting a layer of InGaAs transition layer grown by As4 between InGaAs/InP interface can significantly improve the electrical properties of the InGaAs epitaxial film (grown by As2), and its low temperature mobility is significantly improved. At the same time, the abnormal blue shift of the PL peak disappears with the improvement of InGaAs optical properties. The research shows that the growth of InGaAs transition layer by As4 can significantly reduce the abnormal diffusion of As in InP and obtain a sharp InGaAs/InP interface, thus improving the electrical and optical properties of InGaAs films.
keywords:InGaAs/InP  interface control  mobility  photoluminescence
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