HgTe/CdTe超晶格的分子束外延生长和电容-电压谱研究
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN213

基金项目:


MOLECULAR BEAM EPITAXY GROWTH AND CAPACITANCE-VOLTAGE MEASUREMENT OF HgTe/CdTe SUPERLATTICE
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    在p-型HgTe/CdTe超晶格材料上制作金属-绝缘体-半导体(MIS)结构.报道了HgTe/CdTe超晶格的分子束外延生长、器件制作和测量结果.研究表明,比较宽的CdTe势垒阻碍了少子(电子)到界面的迁移,在77K强反型区域的低频电容不能达到绝缘层电容,类似于普通MIS器件的高频C—V曲线.

    Abstract:

    Metal-insulator-semiconductor (MIS) strueture were fabricated with p-type HgTe/CdTe superlattice. The MBE growth, device fabrication and measurement results are described. The results show that the wide CdTe barrier impedes the movements of minorities (electrons) to the interface and the low frequency capacity can't reach the insulator capacity at 77K in the strong inversion region, which is very similar to high frequency C-V curves of ordinary MIS structures.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

邱岳明,刘坤,袁诗鑫. HgTe/CdTe超晶格的分子束外延生长和电容-电压谱研究[J].红外与毫米波学报,1994,13(1):]. Qiu Yueming, Liu Kun, Yuan Shixin. MOLECULAR BEAM EPITAXY GROWTH AND CAPACITANCE-VOLTAGE MEASUREMENT OF HgTe/CdTe SUPERLATTICE[J]. J. Infrared Millim. Waves,1994,13(1).]

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期: