1.上海科技大学 物质科学与技术学院，上海 201210;2.中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083;3.上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;4.上海市光学薄膜与光谱调控重点实验室，上海 200083;5.中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083
O43
1.School of Physical Science and Technology， ShanghaiTech University， Shanghai 201210， China;2.State Key Laboratory of Infrared Physics， Shanghai Institute of Technical Physics， Chinese Academy of Sciences， Shanghai 200083， China;3.Shanghai Engineering Research Center of Energy-Saving Coatings， Shanghai 200083， China;4.Shanghai Key Laboratory of Optical Coatings and Spectral Modulation， Shanghai 200083， China;5.Shanghai Institute of Technical Physics， Chinese Academy of Sciences， Shanghai 200083， China
Supported by National Key R&D Program of China （2021YFA0715500）， National Natural Science Foundation of China （NSFC） （12227901）， Strategic Priority Research Program （B） of the Chinese Academy of Sciences （XDB0580000）， Shanghai Municipal Science and Technology Major Project（2019SHZDZX01） and Chinese Academy of Sciences President''s International Fellowship Initiative （2021PT0007）.
施策,谢茂彬,郑伟波,冀若楠,王少伟,陆卫.多波长薄膜厚度检测方法研究[J].红外与毫米波学报,2024,43(6):813~819]. SHI Ce, XIE Mao-Bin, ZHENG Wei-Bo, JI Ruo-Nan, WANG Shao-Wei, LU Wei. Study on multi-wavelength thin film thickness determination method[J]. J. Infrared Millim. Waves,2024,43(6):813~819.]
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