光刻法制备的长波红外超透镜
DOI:
作者:
作者单位:

1.上海科技大学物质科学与技术学院;2.上海师范大学;3.中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室;4.中国科学院上海技术物理研究所;5.上海师范大学物理系

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通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家科技攻关计划,国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目),上海市科技重大专项,中国科学院院长国际奖学金倡议


Long Wavelength Infrared Metalens Fabricated by Photolithography
Author:
Affiliation:

1.School of Physical Science and Technology,ShanghaiTech University;2.Shanghai Normal University;3.State Key Laboratory of Infrared Physics, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences;4.State Key Laboratory of Infrared Physics,Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences;5.China;6.Department of Physics,Shanghai Normal University;7.Northwestern Polytechnical University,Xi’an;8.Shanghai Institute of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences;9.Department of Physics, Shanghai Normal University

Fund Project:

The National Key Technologies R&D Program of China,National Natural Science Foundation of China,Shanghai Municipal Science and Technology Major Project,Chinese Academy of Sciences President's International Fellowship Initiative

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    摘要:

    长波红外的超表面在热成像、大气遥感和目标识别等领域具有巨大的应用潜力。在这项研究中,我们设计并实验展示了一种 4 mm 尺寸的全硅超表面透镜,其具有大焦深,可在 9 μm 至 11.5 μm范围内工作。实验结果证实了超透镜在长波红外区域的有效聚焦和成像能力,为超透镜技术在长波红外领域的实际应用铺平了道路。

    Abstract:

    Metasurfaces in the long wave infrared (LWIR) spectrum hold great potential for applications in thermal imaging, atmospheric remote sensing, and target identification, among others. In this study, we designed and experimentally demonstrated a 4 mm size, all-silicon metasurface metalens with large depth of focus operational across a broadband range from 9 μm to 11.5 μm. The experimental results confirm effective focusing and imaging capabilities of the metalens in LWIR region, thus paving the way for practical LWIR applications of metalens technology.

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  • 收稿日期:2023-12-07
  • 最后修改日期:2024-03-06
  • 录用日期:2024-03-12
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