1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所，硅基材料与集成器件实验室，上海200050;2.中国科学院大学，北京100049;3.西安理工大学 电子工程系，西安710048;4.上海微技术工业研究院，上海201800
O439
1.Laboratory of Silicon-Based Materials and Integrated Devices， Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology， Chinese Academy of Sciences， Shanghai 200050， China;2.University of Chinese Academy of Sciences， Beijing 100049， China;3.Department of Electronic Engineering， Xi’an University of Technology， Xi’an 710048， China;4.Shanghai Industrial μTechnology Research Institute， Shanghai 201800， China
Supported by National Key Research and Development Program of China （2019YFB2203502）， Shanghai Sailing Program （20YF1456900）， Strategic Pioneer Research Projects of Defense Science and Technology （XDB43020500）， and National Outstanding Youth Foundation of China （61904185）
岳文成,王庆,李欣雨,王书晓,余明斌.具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合[J].红外与毫米波学报,2021,40(6):709~714]. YUE Wen-Cheng, WANG Qing, LI Xin-Yu, WANG Shu-Xiao, YU Ming-Bin. All-dielectric antislot waveguide with subwavelength mode confinement and its high-efficiency coupling with input/output fiber[J]. J. Infrared Millim. Waves,2021,40(6):709~714.]
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