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快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响
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中图分类号:

TN304.23 TN304.21

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上海市教委资助项目 , 上海市教委优秀青年教师科研专项基金 , 国家自然科学基金 , 上海市重点学科建设项目


EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING ON PROPERTY OF NANO-SnO2 THIN FILM
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    以SnCl2·2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法在快速热退火下制备了SnO2纳米薄膜,研究了快速热退火(RTA)对SnO2薄膜性质的影响.采用X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM),研究了薄膜的晶粒尺寸、微结构、表面形貌与快速热退火条件的关联,用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和光致发光研究了薄膜的光学性质.结果表明,快速热退火(RTA)温度对薄膜的光学性质、晶粒尺寸和薄膜的结构形态均有较大的影响.

    Abstract:

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    引证文献
引用本文

秦苏梅,童梓洋,邓红梅,杨平雄.快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响[J].红外与毫米波学报,2008,27(2):101~104]. YANG Ping-Xiong, QIN Su-Mei, TONG Zi-Yang, GUO Ming, DENG Hong-Mei, YANG Ping-Xiong. EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING ON PROPERTY OF NANO-SnO2 THIN FILM[J]. J. Infrared Millim. Waves,2008,27(2):101~104.]

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  • 最后修改日期:2007-04-20
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