亚50nm自对准双栅场效应晶体管的量子和短沟道效应的研究
中图分类号:

TN302 TN386.1

基金项目:

国家重点基础研究发展规划973(2001CB61040)、国家自然科学基金(60476040,60576068)、国家自然科学基金重点项目(60221502)和上海科学技术委员会重大基金(05DJ14003)资助项目


STUDY ON QUANTUM AND SHORT-CHANNEL EFFECTS FOR SUB-50nm FINFETS
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胡伟达 陈效双 全知觉 周旭昌 陆卫.亚50nm自对准双栅场效应晶体管的量子和短沟道效应的研究[J].红外与毫米波学报,2006,25(2):90~94]. HU Wei-Da, CHEN Xiao-Shuang, QUAN Zhi-Jue, ZHOU Xu-Chang, LU Wei. STUDY ON QUANTUM AND SHORT-CHANNEL EFFECTS FOR SUB-50nm FINFETS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2006,25(2):90~94.]

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  • 收稿日期:2005-04-24
  • 最后修改日期:2005-09-08
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