不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究
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O433.4 TN213

基金项目:

国家自然科学基金(60277024)、上海应用材料研究与发展基金、上海市纳米专项(0452nm051)和上海市重点学科(T0101)资助项目


STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS
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    采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5-12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10^-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低干(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优干(111)取向膜。

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引用本文

苏青峰 夏义本 王林军 刘健敏 史伟民.不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究[J].红外与毫米波学报,2006,25(2):86~89]. SU Qing-Feng, XIA Yi-Ben, WANG Lin-Jun, LIU Jian-Min, SHI Wei-Min. STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2006,25(2):86~89.]

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  • 收稿日期:2005-05-13
  • 最后修改日期:2005-09-21
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