亚微米结构高Tc超导探测器研制
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O511

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DEVELOPMENT OF HIGH T c SUPERCONDUCTING IR DETECTORS WITH SUB MICROMETER STRUCTURE
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    应用同步辐射技术对YBCO超导薄膜进行光刻,获得0.8μm间隔的折线结构,研制成亚微米结构高Tc超导薄膜红外探测器,敏感元接收红外辐射能量提高约42%.器件的最好探测率D*达到1.8×1010cmH1/2ZW-1,工作温度约90K.

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引用本文

刘心田,陆惠秀,刘兴海,李标,褚君浩,胡一贯,洪义麟,傅绍军.亚微米结构高Tc超导探测器研制[J].红外与毫米波学报,1998,17(5):381~385]. LIU Xin Tian LU Hui Xiu LIU Xin Hai LI Biao CHU Jun Hao. DEVELOPMENT OF HIGH T c SUPERCONDUCTING IR DETECTORS WITH SUB MICROMETER STRUCTURE[J]. J. Infrared Millim. Waves,1998,17(5):381~385.]

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