红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用
中图分类号:

TN213 O484.4

基金项目:

国家863高技术基金


APPLICATION OF INFRARED TRANSMISSION SPECTRA IN ASSESSMENT OF HgCdTe EPILAYERS
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    用最新发表的HgCdTe材料的光学常数对MBE工艺生长的HgCdTe/CdTe/GaAs材料的透射光谱进行了理论计算,对受生长工艺破坏的衬底背面再次进行抛光处理,消除因表面不平整引起的漫反射效应,使实验测量得到的光谱曲线与理论计算结果很好地吻合,由此得到的HgCdTe和CdTe外延层的厚度和解理面上用显微镜测量的数值相同。

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引用本文

杨建荣 王善力.红外透射光谱在HgCdTe外延薄膜性能评价中的应用[J].红外与毫米波学报,1996,15(5):327~332]. Yang Jianrong, Wang Shanli, Guo Shiping, He Li. APPLICATION OF INFRARED TRANSMISSION SPECTRA IN ASSESSMENT OF HgCdTe EPILAYERS[J]. J. Infrared Millim. Waves,1996,15(5):327~332.]

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