3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制
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TN215 O434.33

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国家自然科学基金


DEVELOPMENT OF THREE-CHANNEL SHORT-WAVE IR SPECTRUM DISTINGUISHABLE DETECTOR ARRAY
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    摘要:

    用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵,交过类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合,构成光谱可识别列阵探测器,报道了3通道短波红外滤光片列阵的设计和制作,以及4元3通道光谱可识别探测器的研制。

    Abstract:

    The multi-pass band micro-filters array was fabricated by the techniques of masking and lifting-off or etching of the films. The spectrally distingulshable detectors array is composed of the detectors array and the micro-filters array.The design and fabrication of the threer-channel short wave infrared filters array,and the development of the spectrum distinguishable detectors array are reported.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

程实平 严义埙 等.3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制[J].红外与毫米波学报,1994,13(6):401~404]. Cheng Shiping, Yan Yixun, Zhang Fengshan, Xu Buyun, Zhu Cuiyuan. DEVELOPMENT OF THREE-CHANNEL SHORT-WAVE IR SPECTRUM DISTINGUISHABLE DETECTOR ARRAY[J]. J. Infrared Millim. Waves,1994,13(6):401~404.]

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