热壁外延ZnSe单晶薄膜
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TN304.25

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国家高技术计划新概念新构思探索研究资助项目


HWE GROWN ZnSe SINGLE CRYSTAL FILM~*
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    摘要:

    介绍了一种结构更加简单的热壁外延装置,以及用该装置在GaAs(100)面上生长ZnSe单晶外延层的工艺。扫描电镜和X射线衍射分析表明用该装置生长的ZnSe单晶外延层是比较理想的。

    Abstract:

    A simple HWE apparatus and the technology of using this appparatus to grown ZnSe single crystal epilayers on GaAs [100] plane are reported. The analysis of scanning electron microscope and X-ray diffraction shows that the epilayer of ZnSe single crystal is perfect.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

杨玉琨 吴连民.热壁外延ZnSe单晶薄膜[J].红外与毫米波学报,1991,10(1):57~60]. YANG YUKUN, WU LIANMIN, MENG QINGJU, WANG HAIFENG, YANG HUI, SUN MINGYAN. HWE GROWN ZnSe SINGLE CRYSTAL FILM~*[J]. J. Infrared Millim. Waves,1991,10(1):57~60.]

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