重点介绍PtSi肖脱基势垒红外焦平面光腔的介质生长技术及介质的折射率和介质层厚度对PtSi肖脱基势垒探测器性能的影响,发现适当的合金条件和减薄PtSi层厚度有利于提高探测器的量子效率,背面增加抗反射层能减少红外辐射在入射界面的能量损失.
冯志华,董建民,凌裕农,吴作良,沈重辉. PtSi肖脱基势垒红外焦平面光腔结构的研究[J].红外与毫米波学报,1989,8(3):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1989,8(3).]
