在台式光敏面基础上,采用SiO_2介质掩蔽,金属膜延伸电极和衬底区超声引焊电极引线,研制成InSb光伏型列阵的准平面型器件。由本工艺制备的器件具有无串音、结阻抗高、反向耐压高、稳定性好等良好性能。
俞振中,王留福,陈新强,沈寿珍,葛友放,胡文军.准平面型InSb光伏列阵红外探测器[J].红外与毫米波学报,1984,3(2):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1984,3(2).]
