• 2023年第44卷第10期文章目次
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    • 大面阵碲镉汞芯片的耦合热应力模型与结构优化

      2023, 44(10):1-9.

      摘要 (632) HTML (0) PDF 3.60 M (597) 评论 (0) 收藏

      摘要:针对大面阵碲镉汞芯片热应力仿真分析过程中计算量与准确性不能兼容的问题,通过在芯片互联区的不同位置引入小规模铟柱阵列建立了耦合热应力的优化仿真模型。借助此模型进行热应力分析,发现在铟柱的上下表面附近区域产生了较大的热应力,同时边缘及角落处的阵列单元内部所产生的热应力更大(最高达225.69 MPa)。进一步对芯片的结构进行了优化,获得了最优读出电路及碲锌镉衬底厚度。此外,仿真结果表明,单面铟是热应力较低的铟柱结构,减小铟柱的半径可以进一步减小其内部的热应力。所提出的热应力仿真优化模型为大面阵碲镉汞芯片内部的热应力分析提供了更准确有效的分析方法以及器件设计方面的理论指导。

    • 高质量5 in InSb单晶生长

      2023, 44(10):10-14.

      摘要 (514) HTML (0) PDF 2.33 M (529) 评论 (0) 收藏

      摘要:锑化铟(InSb)焦平面探测器是中波红外探测领域应用广泛的一种探测器。作为制备探测器的基础,InSb晶体材料的质量和性能显得尤为重要。近年来InSb晶体材料在向高质量大尺寸方向发展。通过多举措坩埚设计和温场条件设计,采用直拉法生长了直径大于135 mm的InSb单晶。测试结果表明,5 in晶片的位错腐蚀坑密度小于50 cm-2,双晶衍射峰的半峰宽为8.32 arcsec,晶体具有相当好的完整性。通过优化生长工艺参数,晶体生长过程中具有较为平坦的固液界面,表现出良好的径向电学均匀性。这为制备低成本和超大规模InSb红外探测器阵列奠定了基础。

    • InAs/GaSb II类超晶格红外探测器背减薄技术研究

      2023, 44(10):15-20.

      摘要 (698) HTML (0) PDF 3.23 M (635) 评论 (0) 收藏

      摘要:针对InAs/GaSb II类超晶格红外探测器开发高质量背减薄工艺,获得了高质量衬底表面,改善了超晶格红外探测器组件的成像品质。采用机械抛光和机械化学抛光相结合的工艺减薄衬底,其中机械抛光削减衬底大部分厚度,然后通过机械化学抛光去除机械损伤。机械化学抛光过程中,在压力、转速等不变的情况下,主要研究机械化学抛光液的pH值对衬底表面质量的影响。实验结果表明,当机械化学抛光液的pH值为9.4时,获得了高质量、低损伤的芯片衬底表面,并实现了最佳的探测器组件成像效果。

    • 一种利用结构光照明的高精度三维测量系统

      2023, 44(10):21-33.

      摘要 (506) HTML (0) PDF 5.44 M (476) 评论 (0) 收藏

      摘要:为实现微小物体的全方位高精度三维测量,构建了一种利用结构光照明的高精度三维测量系统。对系统采用的双远心镜头、相位解算方法、多投影点云融合算法等进行研究。首先利用双远心测量头采集图像数据,然后采用多频相移与互补格雷码相移两种方法进行相位解算,并分析比较两种方法在重建精度和重建效率方面的性能,最后针对特定点云噪声提出相位滤波方法、优化的统计滤波方法以及多投影点云融合匹配校正方法。实验结果表明,系统应针对不同使用场景选用不同的相位解算方法;相较于单投影双目系统,基于多投影的本系统能获取目标全貌,且平面及高度测量精度均在10 μm以下;在GPU加速后,测量速度提升218倍。该系统基本满足高精度工业测量的精度高、效率高等要求。

    • 光纤布拉格光栅振动传感器的研究进展

      2023, 44(10):34-42.

      摘要 (719) HTML (0) PDF 3.85 M (548) 评论 (0) 收藏

      摘要:随着光纤传感技术的不断发展,光纤布拉格光栅(Fiber Bragg Grating, FBG)振动传感器在实际应用中的复杂振动测量性能愈发优良可靠。基于FBG振动传感器的优势,简略地阐述了FBG振动传感器的工作原理,并介绍了近5年国内研发的部分悬臂梁型、膜片型、铰链型三种结构的优缺点。最后针对FBG振动传感器提出了4个方面的建议,并展望了FBG振动传感器的发展方向。

    • 轻量级红外刑侦图像目标识别算法

      2023, 44(10):43-51.

      摘要 (500) HTML (0) PDF 2.99 M (539) 评论 (0) 收藏

      摘要:红外刑侦图像目标识别对刑事侦查具有重要意义,但刑事案件的侦破对时间和置信度要求较高。设计一种保持优异识别精度且具备较快识别速度的轻量级红外刑侦图像目标识别算法,具有十分重要的研究价值。因此借鉴生物免疫的优良特性,设计了免疫原性深度神经网络算法。该算法通过构建先天性免疫网络和适应性免疫网络来提取图像特征,然后设置免疫原性网络增强算法在处理图像特征映射时对不同通道之间优先级的调整能力,从而提高算法的精度和速度。实验结果表明,本文算法有效实现了红外刑侦图像的快速精准识别。与VGG16、VGG19、Resnet34、Resnet50、MobilenetV2等模型相比,本文算法不仅取得了99.4%的最高测试准确率,而且还具备最快的识别速度。

主编:孙胜利 院士

国际标准刊号:ISSN 1672-8785

国内统一刊号:CN 31-1304/TN

国内邮发代号:4-290

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