一种用于检测薄膜均匀性的光谱方法
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国家自然科学基金(10874196、60508018)、上海市青年科技启明星跟踪计划(08QH14025)及上海市研发基地协作能力建设专项(09DZ2202200、08DZ2201000)资助项目


A New Spectrum Method for Measuring Film Uniformity
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    摘要:

    介绍了一种新的简单有效的薄膜均匀性信息获取方法。该方法基于我们先前提出的 纳米薄膜厚度精确测量方法,它通过检测镀制在含有过渡层的衬底上不同位置的薄膜的光谱,并由其干 涉峰间的差异获取薄膜的均匀性信息。与传统方法相比,该方法无需直接测量薄膜的厚度,减少了测量膜厚带来的误差和影响,因而可以 快速得出薄膜均匀性结论。该方法操作方便、计算简单,为改进镀膜工艺提供了重要参考。

    Abstract:

    A simple and effective method for obtaining the uniformity information of films is proposed. The method is based on the accurate measurement method for nano film thickness we given before. It firstly measures the spectrum of the film in different positions on a substrate containing a transition layer and then obtains the uniformity information of the film according to the interference peak difference. Compared with the traditional method, this method reduces the error resulting from the direct measurement of film thickness. Therefore, it can obtain the uniformity information of the film quickly. The method is convenient and simple in operation and is of important value to the improvement of coating processes.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

姬弘桢,邹娟娟.一种用于检测薄膜均匀性的光谱方法[J].红外,2011,32(8):1-7.

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