TN215
摘要本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造。由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别，用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲。用偏振光对弯曲程度进行检测，在CCD上呈现偏振光的干涉图案。它完全消除了由电路引入的噪声。目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右，但其理论值仅为几mK。
刘海涛 陈永平 梁平治.微悬臂梁非制冷红外探测器的研究[J].红外,2004,(6):1-.
