一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融的处理装置

一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融的处理装置
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中图分类号:TN215
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红外焦平面器件电极铟柱是器件芯片与读出电路互联的介质,器件的每个像元电极区都必需制备铟柱。由于器件集成度高,像元电极区的铟柱必须做得极小,并与电极接触良好。用目前工艺制备出的铟柱存在

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参考文献

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引证文献

.一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融的处理装置[J].红外,2003,(3).

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