+高级检索
首页 > 过刊浏览>2026年第45卷第5期 >837-843. DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.JIMW.2025157
PDF HTML阅读 XML下载 导出引用 引用提醒
高精细度硅超稳光学参考腔的自主研制
CSTR:
作者:
作者单位:

1中国科学院国家授时中心，陕西 西安 710600;2中国科学院时间基准及应用重点实验室，陕西 西安710600;3西安超纳精密光学有限公司，陕西 西安710100;4西安邮电大学通信与信息工程学院，陕西 西安710121

作者简介:

E-mail： xuguanjun@ntsc.ac.cntaoliu@ntsc.ac.cn

通讯作者:

中图分类号:

043

基金项目:


Independent development of a silicon ultra-stable optical reference cavity with high-finesse
Author:
Affiliation:

1National Time Service Center， Chinese Academy of Sciences， Xi’an 710600， China;2Key Laboratory of Time Reference and Application， Chinese Academy of Sciences， Xi’an 710600， China;3Xi’an SNP Precision Optics Co.， Ltd.， Xi’an 710100， China;4School of Communications and Information Engineering and School of Artificial Intelligence， Xi’an University of Posts and Telecommunications， Xi’an 710121， China

Fund Project:

the National Natural Science Foundation of China （NSFC） 12303076 12403078the Key Research and Development Program of Shaanxi Province 2024GX-ZDCYL-01-28the Sanqin Talents'' Special Support Program 09R0557A00the Shaanxi Provincial Outstanding Young Scientist Fund Project 2025JC-JCQN-082the Shaanxi Province Key Research and Development Program 2025CY-YBXM-0060the Shaanxi Province Qin Chuangyuan "Scientist + Engineer" Team Construction Project 2025QCY-KXJ-162the Open Fund of Hubei Luojia Laboratory 230100030Supported by the National Natural Science Foundation of China （NSFC） （12303076， 12403078）， the Key Research and Development Program of Shaanxi Province （2024GX-ZDCYL-01-28）， the Sanqin Talents'' Special Support Program （09R0557A00）， the Shaanxi Provincial Outstanding Young Scientist Fund Project （2025JC-JCQN-082）， the Shaanxi Province Key Research and Development Program （2025CY-YBXM-0060）， the Shaanxi Province Qin Chuangyuan "Scientist + Engineer" Team Construction Project （2025QCY-KXJ-162）， the Open Fund of Hubei Luojia Laboratory （230100030）.

  • 摘要
    • |
  • 图/表
    • |
  • 访问统计
    • |
  • 参考文献
    • |
  • 相似文献
    • |
  • 引证文献
    • |
  • 资源附件
    • |
  • 文章评论
    摘要:

    本工作展示了自主研制高精细度硅超稳光学参考腔。硅材料具有卓越的热稳定性、较低的机械损耗以及优异的振动不敏感度。通过优化加工工艺，有效解决了硅材料脆性和各向异性带来的关键制造挑战。采用三级抛光技术，实现了超光滑表面，粗糙度达到埃级（RMS）。高反射膜采用SiO2/Ta2O5作为涂层材料，通过离子束溅射沉积法制备。通过腔线宽测量的方法显示其精细度约为340，000，与国际顶尖水平相当。这些结果表明中国独立开发高性能硅基超稳光学参考腔的能力。这一进展对光钟和引力波探测等精密应用具有重要意义。

    Abstract:

    This work presents the independent development of a silicon ultra-stable optical reference cavity with high-finesse. Silicon exhibits exceptional thermal stability， lower mechanical loss， and superior vibrational insensitivity. An optimized machining process effectively addresses key manufacturing challenges posed by silicon''s brittleness and anisotropic properties. The three-stage polishing technology is utilized to achieve ultra-smooth surfaces with ? level roughness （RMS）. The high-reflection film is produced using SiO2/Ta2O5 as the coating material via ion beam sputter deposition. A cavity linewidth measurement method demonstrates a finesse of ~340，000， comparable to top international counterparts. These results demonstrate China’s ability to independently develop high-performance silicon-based ultra-stable optical reference cavities. This advancement holds significance for precision applications like optical clocks and gravitational wave detection.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

焦东东，高静，吴攀，邓雪，吴梦凡，张林波，许冠军，崔杰，董瑞芳，刘涛，屈波，张首刚.高精细度硅超稳光学参考腔的自主研制[J].红外与毫米波学报,2026,45(5):837-843. Jiao Dong-Dong, Gao Jing, Wu Pan, Deng Xue, Wu Meng-Fan, Zhang Lin-Bo, Xu Guan-Jun, Cui Jie, Dong Rui-Fang, Liu Tao, Qu Bo, Zhang Shou-Gang. Independent development of a silicon ultra-stable optical reference cavity with high-finesse[J]. J. Infrared Millim. Waves,2026,45(5):837-843.

复制
分享
相关视频

文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2025-06-03
  • 最后修改日期:2025-06-19
  • 录用日期:2025-06-24
  • 在线发布日期: 2026-07-30
  • 出版日期:
文章二维码
您是第 位访问者
主管单位：中国科学院
主办单位：中国科学院上海技术物理研究所，中国光学学会
地址：上海市玉田路500号 电话：021-25051553
红外与毫米波学报 ® 2026 版权所有