• 2024年第45卷第9期文章目次
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    • 分子束外延中波/中波双色HgCdTe材料研究

      2024, 45(9):1-6.

      摘要 (1089) HTML (0) PDF 2.19 M (661) 评论 (0) 收藏

      摘要:采用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE)法制备了高质量的npn型中波/中波双色HgCdTe材料。利用傅里叶变换红外光谱仪(Fourier Transform Infrared Spectrometer, FTIR)、二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS)、X射线双晶衍射仪(X-Ray double-crystal Diffractometer, XRD)分别测试了材料组分、厚度、元素分布和平均半峰宽等参数。结果表明,材料底部n型吸收层的碲镉汞组分为0.318,厚度为7.15 μm;p型层的组分为0.392,厚度为2.47 μm;顶部n型吸收层的组分为0.292,厚度为4.71 μm。As掺杂浓度约为3×1018 cm-3,In掺杂浓度为4×1015 cm-3,平均半峰宽约为95 arcsec,表明该材料具有良好的质量。利用聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)、扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)、X射线能谱仪(Energy-Dispersive X-ray spectrometer, EDX)测试表征了HgCdTe外延材料表面缺陷的形貌,确认缺陷主要受生长温度和Hg/Te束流比等生长参数的影响。

    • 基于3ω法的微测辐射热计像元薄膜热导率测试

      2024, 45(9):7-16.

      摘要 (1375) HTML (0) PDF 5.47 M (667) 评论 (0) 收藏

      摘要:热导是微测辐射热计像元的重要参数之一,其大小直接影响像元的响应高低。热导与组成像元的薄膜材料的热导率相关,薄膜的特征尺寸、温度和淀积工艺皆会影响热导率。监控工艺线上薄膜的热导率,对像元的设计具有重要意义。根据3ω谐波探测技术,搭建了薄膜热导率的测试系统,测试了厚度为 20~100 nm 的氮化硅(SiNx)及二氧化硅(SiO2)薄膜的热导率,包括温度特性和尺寸特性。根据尺寸特性计算得到SiNx的本征热导率为 0.747 W/(m·K),SiO2的本征热导率为 1.085 W/(m·K)。测得厚度为 100 nm的钛(Ti)金属薄膜的热导率为 6.708 W/(m·K)。与基于光热法的测试系统相比,基于3ω法的测试台架搭建更简单。该方法利用微机电系统(Micro-Electromechanical Systems, MEMS)制造工艺制备测试样品,是MEMS产品设计与制造中表征微纳尺度薄膜热导率的理想方案。

    • 一种红外焦平面串音测试方法

      2024, 45(9):17-22.

      摘要 (1294) HTML (0) PDF 1.05 M (630) 评论 (0) 收藏

      摘要:作为红外成像设备的核心部件,红外焦平面阵列(Infrared Focal Plane Array, IRFPA)探测器的性能直接影响设备的成像质量。无法避免的衍射效应会导致像元间存在串音现象,严重影响探测器的性能。提出了一种基于狭缝光学系统的串音测试方法。利用高精度狭缝光学测试设备获取狭缝范围内探测像元与其横向相邻像元的电平数据,同时实现对串音现象的定量评价。使用中波320×256碲镉汞(30 μm)探测器、中波320×256碲镉汞(50 μm)探测器和中波320×256锑化铟(30 μm)探测器的测试数据验证所提出的串音测试方法。结果表明,所提出的方法可准确描述串音现象并定量分析串音现象对探测器性能的影响。与现有小光点测试方法相比,该方法更易聚焦,得到的串音量化结果更准确,提高了测试效率。

    • 基于X射线衍射形貌术的碲锌镉晶体样品制备方法研究

      2024, 45(9):23-28.

      摘要 (1174) HTML (0) PDF 3.59 M (640) 评论 (0) 收藏

      摘要:基于传统X射线衍射形貌术(X-Ray diffraction Topography, XRT)的碲锌镉晶体样品制备方法是通过对测试晶片进行磨抛加工,获得满足测试条件的表面。随着单晶晶片尺寸的增大,晶片磨抛加工的难度变大、耗时变长,而且还容易导致晶片损坏。针对上述问题,通过对切割研磨后的晶片腐蚀方法进行研究,获得了一种新的XRT样品制备方法。该方法能够快速去除晶片的表面损伤,获得满足XRT测试要求的晶片表面,大幅减小制样难度并缩短制样时间。使用该方法制备的样品X射线衍射形貌图像衬度均匀、信噪比较好,各类型晶体缺陷均可被检测出来。此技术能够很好地应用于大尺寸碲锌镉晶片的后续筛选和加工。

    • 基于改进YOLOv8的圆形合作目标检测定位算法研究

      2024, 45(9):29-43.

      摘要 (1220) HTML (0) PDF 8.47 M (998) 评论 (0) 收藏

      摘要:针对视觉测量中低照度或复杂背景下圆形合作目标识别精度较低或定位能力较差等问题,提出了一种基于卷积神经网络(Convolutional Neural Networks, CNNs)对YOLOv8算法进行优化设计的模型。该模型共有225层网络、约300万个参数以及8.2G FLOPs计算量。采用不同条件下的圆形合作目标数据集进行模型训练,同时在训练过程中实时监控模型的性能指标和计算效率,对模型进行细致的调整和优化。实验结果表明,本文算法具有99%的准确率、92%的召回率、92%的平均精度。相较于霍夫变换和YOLOv3等传统特征提取方法,本文算法的精确率分别提升了14%和4%,召回率分别提升了17%和2%,平均精度分别提升了10%和2%。该算法可以在低照度环境、复杂背景或目标形状微小变化等多变条件下,显著提高圆形合作目标的识别定位精度。

    • 基于太赫兹时域光谱和PCA-SVM 算法的甜蜜素含量分析

      2024, 45(9):44-52.

      摘要 (1179) HTML (0) PDF 3.85 M (636) 评论 (0) 收藏

      摘要:光谱分析是研究太赫兹(THz)辐射与物质相互作用的重要手段。采用全光纤式THz时域光谱(THz Time-Domain Spectroscopy, THz-TDS)系统测试了不同含量甜蜜素样品的透过率光谱,发现甜蜜素的特征吸收峰位置在1.4 THz和1.7 THz附近;采用主成分分析结合支持向量机(PCA-SVM)的方法建立了甜蜜素含量回归模型,然后将其预测结果与遗传算法结合偏最小二乘(GA-PLS)模型进行分析比较,并引入决定系数(R2)和预测均方根误差(RMSE)来评价建模效果,对以10%含量梯度制作的样品集进行检测。研究结果表明,采用PCA-SVM、SVM和GA-PLS方法建立的预测模型的RMSE分别为1.885%、1.926%和2.432%。因此,PCA-SVM方法的预测效果最优,且预测数据与实际数据均表现出良好的相关性,获得了效果良好的含量回归预测模型,为甜蜜素含量的检测与分析提供了一种有效手段。

主编:孙胜利 院士

国际标准刊号:ISSN 1672-8785

国内统一刊号:CN 31-1304/TN

国内邮发代号:4-290

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