10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展
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Development of Long-Wavelength 1280×1024 HgCdTe Detectors with 10 μm Pitch
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    摘要:

    随着红外技术的进步,红外探测器组件向着更小尺寸、更高分辨率的方向发展。小像元间距、大面阵规格是长波探测器发展的重要方向。通过对10 μm 像元间距、9 μm截止波长、1280×1024阵列规格长波探测器的研究,突破了10 μm间距长波像元成结技术、10 μm像元间距铟柱制备及互连技术,制备了有效像元率大于等于99.4%、非均匀性小于等于4%的10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器芯片。

    Abstract:

    With the advancement of infrared technology, infrared detector assemblies are developing towards smaller size and higher resolution. Small pitch and large area array specifications are important directions for the development of long-wavelength detectors. Through the research of 10 μm pitch, 9 μm cut-off wavelength, and 1280×1024 long-wave detector arrays, breakthroughs have been made in 10 μm-pitch long-wavelength pixel junction technology, 10 μm-pitch indium column preparation and interconnection technology. A long-wavelength 1280×1024 HgCdTe detector chip with an effective pixel rate of 99.4% or more and a non-uniformity of less than or equal to 4% has been developed.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

祁娇娇,冯晓宇,陈彦冠,等.10 μm间距长波1280×1024碲镉汞探测器研制进展[J].红外,2022,43(2):1-6.

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  • 收稿日期:2021-10-12
  • 最后修改日期:2021-10-31
  • 录用日期:2021-11-04
  • 在线发布日期: 2022-02-28
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