用多通道传感器测量薄膜厚度

用多通道传感器测量薄膜厚度
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中图分类号:O484.5 TP212
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本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片，该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下：

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参考文献

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引证文献

高（编译）.用多通道传感器测量薄膜厚度[J].红外,2006,(10):48.

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