单片集成于SOI上的光电探测器

单片集成于SOI上的光电探测器
DOI:
                        
CSTR:
                        
作者:
                        
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
中图分类号:TN215
基金项目:

Author:

Affiliation:

Fund Project:

摘要:

介绍了SOI基片的制作，和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法，以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性。

Abstract:

参考文献

相似文献

引证文献

董金珠江美玲梁平治.单片集成于SOI上的光电探测器[J].红外,2004,(6):6-14.

复制