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1 引言 非制冷红外焦平面探测器,由于具有使用方便、室温工作、响应频谱宽、可低成本大批量生产等优点,可广泛地应用于工业、农业、环境、军事、医疗等领域。目前它正在受到人们的极大重视。非制冷红外焦平面探测器的核心结构是非制冷红外焦平面列阵,即芯片。美、
马建华.热释电PZT的薄膜材料物理与器件物理[J].红外,2003,(11):1-8.