通过多层薄膜调控 InAs / GaSb II类超晶格长波红外焦平面阵列的响应光谱
投稿时间:2020-06-18  修订日期:2020-07-26  点此下载全文
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史睿 中国科学院上海技术物理研究所 1249359402@qq.com 
周建 中国科学院上海技术物理研究所  
白治中 中国科学院上海技术物理研究所  
徐志成 中国科学院上海技术物理研究所  
周易 中国科学院上海技术物理研究所  
梁钊铭 中国科学院上海技术物理研究所  
师瑛 中国科学院上海技术物理研究所  
徐庆庆 中国科学院上海技术物理研究所  
陈建新 中国科学院上海技术物理研究所 jianxinchen@mail.sitp.ac.cn 
基金项目:国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目)
中文摘要:本文在长波InAs / GaSb II类超晶格红外焦平面阵列(FPA)上设计和生长了由硫化锌和锗组成的多层薄膜。 与没有生长多层薄膜的FPA相比,多层薄膜使FPA的响应峰位置从8.7和10.3μm移动到9.8和11.7μm。 FPA的50%响应截止波长从11.6μm变为12.3μm,并且FPA的响应强度在12μm的波长处增加了69%。 总而言之,多层薄膜使FPA的响应波长可调,这为更灵敏的长波检测和改善成像能力提供了发展的平台。
中文关键词:II 类超晶格,焦平面,多层薄膜,光谱响应调控
 
Tuning the optical response of long-wavelength InAs/GaSb Type-II superlattices infrared focal plane arrays with multi-coatings
Abstract:In this paper, the multi-coatings composed of layers of zinc sulfide and germanium was designed and fabricated on a long-wavelength InAs/GaSb Type-II superlattices infrared focal plane arrays (FPAs). Compared with the FPAs without multi-coatings, the multi-coatings makes the response peaks of the FPAs shift from the wavelength of 8.7 and 10.3 μm to that of 9.8 and 11.7 μm. The 50% response cut-off wavelength of the FPAs shifts from 11.6 μm to 12.3 μm, and the response intensity of the FPAs is increased by 69% at the wavelength of 12 μm. In summary, the multi-coatings make the response wavelength of the FPAs tunable, which provides a powerful platform for more sensitive long-wave detection and improving imaging capabilities.
keywords:Type-II superlattices, FPAs, multi-coatings, tunable response.
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