一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法
投稿时间:2019-03-30  修订日期:2019-09-12  点此下载全文
引用本文:
摘要点击次数: 44
全文下载次数: 0
作者单位E-mail
刘超 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029
中国科学院大学,北京 100049 
liuchao@ime.ac.cn 
侯影 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029
无锡物联网创新中心有限公司江苏 无锡214028 
 
傅剑宇 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029
中国科学院大学,北京 100049
无锡物联网创新中心有限公司江苏 无锡214028 
fujianyu@ime.ac.cn 
刘瑞文 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029  
魏德波 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029
中国科学院大学,北京 100049 
 
陈大鹏 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心,北京 100029
中国科学院大学,北京 100049
无锡物联网创新中心有限公司江苏 无锡214028 
 
基金项目:国家自然科学基金 61601455 61874137;北京市科委重点研发计划 Z191100010618005国家自然科学基金(61601455, 61874137); 北京市科委重点研发计划(Z191100010618005);
中文摘要:红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。本文基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性。
中文关键词:红外热探测器  二极管  电学等效测试  热学参数
 
An electrical equivalent test method for thermal parameters of a diode type infrared thermal detector
Abstract:Thermal parameters of infrared thermal detector including: thermal capacity, thermal conductance and thermal response time, reflect the structure information and performance of detector. It is of great significance for device performance evaluation and optimization to accurately and efficiently measure these thermal parameters. The diode type infrared detector is an important type of infrared detector. Based on the self-heating effect of diode type infrared thermal detector, an electrical equivalent test method is developed. This method has the advantages of high precision and easy realization. A pixel of the self-made diode type infrared focal plane array is tested using this method, and the results are in good agreement with the theoretical analysis and verify the feasibility of the method.
keywords:infrared thermal detector, diode, electrical equivalent test, thermal parameters
  HTML  查看/发表评论  下载PDF阅读器

版权所有:《红外与毫米波学报》编辑部