HfxTi1-xO2电子结构与光学性质的第一性原理研究
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国家重点基础研究发展计划(973计划)


Electronic Structure and Optical Properties of HfxTi1-xO2 Calculated From First Principles
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    摘要:

    利用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,研究了金红石结构TiO2以及不同比例Hf替代Ti原子后形成的化合物HfxTi1-xO2的几何结构、电子结构和光学性质。计算结果表明,化合物HfxTi1-xO2都是具有间接带隙的半导体,Hf的替代使TiO2的禁带宽度有不同程度的增加,静态光学介电常数减小,但均高于SiO2,因此能够满足微电子行业对于高k材料的要求。

    Abstract:

    The geometry, electronic structure and optical properties of purerutile-phase TiO2 and HfxTi1-xO2 formed by substituting Hf for Ti in TiO2 were studied by using the plane-wave ultra-soft pseudo-potential method based on the density functional theory. The calculations show that all the compounds of HfxTi1-xO2 are indirect band gap semiconductors. The values of band gap for HfxTi1-xO2 are bigger than that for pure TiO2. The static dielectric constant of HfxTi1-xO2 is smaller than that of pure TiO2 but larger than that of silicon dioxide.The results suggest that HfxTi1-xO2 can meet the requirement on high k materials in microelectronics industry.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

段国玉,宋思超,魏昌东,王松有,贾瑜. HfxTi1-xO2电子结构与光学性质的第一性原理研究[J].红外与毫米波学报,2010,29(4):264~267]. DUAN Guo-Yu, SONG Si-Chao, WEI Chang-Dong, WANG Song-You, JIA Yu. Electronic Structure and Optical Properties of HfxTi1-xO2 Calculated From First Principles[J]. J. Infrared Millim. Waves,2010,29(4):264~267.]

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  • 收稿日期:2009-09-28
  • 最后修改日期:2010-02-04
  • 录用日期:2009-12-08
  • 在线发布日期: 2010-08-24
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