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纳米金刚石薄膜的光学性能研究
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O484.1

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国家自然科学基金（60577040）、上海应用材料研究与发展基金（0404）、上海市纳米科技专项（0452nm051）、上海市重点学科资助（T0101）


OPTICAL PROPERTIES OF NANO-CRYSTALLINE DIAMOND FILMS
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    摘要:

    用热丝化学气相（HFCVD）法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜，用扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）观测薄膜的表面形貌和粗糙度，拉曼光谱表征膜层结构，紫外-可见光分光光度计测量其光透过率，并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n，k值．结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下，表面粗糙度仅为21nm；厚度为3．26（m薄膜在632．8nm波长处的透过率为25％，1100nm波长处达到50％．采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙（Eg）为4．3eV．

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引用本文

蒋丽雯 王林军 刘健敏 阮建锋 苏青峰 崔江涛 吴南春 史伟民 夏义本.纳米金刚石薄膜的光学性能研究[J].红外与毫米波学报,2006,25(3):195~198]. JIANG Li-Wen, WANG Lin-Jun, LIU Jian-Ming, RUAN Jian-Feng, SU Qing-Feng, CUI Jiang-Tao, WU Nan-Chun, SHI Wei-Ming, XIA Yi-Ben. OPTICAL PROPERTIES OF NANO-CRYSTALLINE DIAMOND FILMS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2006,25(3):195~198.]

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  • 收稿日期:2005-12-10
  • 最后修改日期:2006-02-25
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