利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数
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TN304 O484

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国家自然科学基金资助项目(50372085)


MEASUREMENT OF THE ELECTRIC-OPTIC INDEX OF THIN FILMS BY USING MODULATED ELLIPSOMETRY
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    利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变8n.最后用测量得到的厚度,折射率以及折射率的改变来计算薄膜的电光系数.该仪器的灵敏度很高,很适合较薄的膜层材料电光性质的测量.

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引用本文

李芳 王杰 王丹阳 莫党 陈王丽华.利用调制式椭偏仪测量薄膜电光系数[J].红外与毫米波学报,2005,24(1):31~33]. LI Fang, WANG Jie, WANG Dan-Yang, MO Dang, CHEN Wang-Li-Hua. MEASUREMENT OF THE ELECTRIC-OPTIC INDEX OF THIN FILMS BY USING MODULATED ELLIPSOMETRY[J]. J. Infrared Millim. Waves,2005,24(1):31~33.]

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  • 最后修改日期:2004-02-21
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