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国家 973集成微光机电系统研究 (G19990 3 3 10 5 )，国家自然科学基金 ( 69975 40 9,10 3 740 95 )，上海应用材料研究与发展基金项目 ( 0 3 0 6)
葛羽屏,郭方敏,王伟明,徐欣,游淑珍,邵丽,于绍欣,朱自强,陆卫.低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线[J].红外与毫米波学报,2004,23(5):357~359]. GE Yu-Ping, GUO Fang-Min, WANG Wei-Ming, XU Xin YOU Shu-Zhen, SHAO Li, YU Shao-Xin, ZHU Zi-Qiang, LU Wei. LOW-LOSS CPW LINE ON LOW-RESISTIVITY SILICON[J]. J. Infrared Millim. Waves,2004,23(5):357~359.]
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