+高级检索
首页 > 过刊浏览>2004年第23卷第3期 >181-184188
PDF HTML阅读 XML下载 导出引用 引用提醒
磁控溅射法制备的PZT非晶薄膜光学性质研究
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

O484.41

基金项目:

国家重点基础研究 (G0 0 1CB3 0 95 )


OPTICAL PROPERTIES OF PZT AMORPHOUS THIN FILMS PREPARED BY RF MAGNETRON SPUTTERING
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 图/表
    • |
  • 访问统计
    • |
  • 参考文献
    • |
  • 相似文献
    • |
  • 引证文献
    • |
  • 资源附件
    • |
  • 文章评论
    摘要:

    采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了PbZrxTi1-xO3(PZT)(x=0．52)非晶薄膜，并测量了200～1100nm的紫外．可见．近红外透射光谱．基于薄膜的结构和多层结构的透射关系，发展了仅有6个拟合参数的光学常数计算模型．利用该模型，可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度，得到折射率的最大值为2．68，消光系数的最大值为0．562，拟合薄膜厚度为318．1nm．根据Tauc′s法则，得到PZT非晶薄膜的直接禁带宽度为3．75eV．最后，利用单电子振荡模型成功地解释了薄膜的折射率色散关系．

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

胡志高 赖珍荃 黄志明 王根水 石富文 褚君浩.磁控溅射法制备的PZT非晶薄膜光学性质研究[J].红外与毫米波学报,2004,23(3):181~184188]. HU Zhi-Gao, LAI Zhen-Quan, HUANG Zhi-Ming, WANG Gen-Shui SHI Fu-Wen, CHU Jun-Hao. OPTICAL PROPERTIES OF PZT AMORPHOUS THIN FILMS PREPARED BY RF MAGNETRON SPUTTERING[J]. J. Infrared Millim. Waves,2004,23(3):181~184188.]

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
您是第 位访问者
主管单位：中国科学院
主办单位：中国科学院上海技术物理研究所，中国光学学会
地址：上海市玉田路500号 电话：021-25051553
红外与毫米波学报 ® 2024 版权所有