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首页 > 过刊浏览>2004年第23卷第2期 >99-102
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128元非致冷氧化钒红外探测器的制作
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TN215 O484.1

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国家自然科学基金重点资助项目 (60 10 60 0 3 )


FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS
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    采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为 - 0 .0 2 1K-1的氧化钒薄膜 ,以此为基础 ,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了 12 8元氧化钒红外探测器 .为了降低探测器敏感元与衬底间的热导 ,设计制作了自支撑的微桥结构阵列 .测试结果显示探测器的响应率和探测率在 8～ 12 μm的长波红外波段处分别达到10 4V/W和 2× 10 8cmHz1/ 2 W-1.

    Abstract:

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引用本文

王宏臣,易新建,陈四海,黄光,肖静.128元非致冷氧化钒红外探测器的制作[J].红外与毫米波学报,2004,23(2):99~102]. WANG Hong Chen, YI Xin Jian, CHEN Si Hai, HUANG Guang, XIAO Jing . FABRICATION OF 128-ELEMENT UNCOOLED VO_x THERMAL IR DETECTORS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2004,23(2):99~102.]

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