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PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱研究
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O484.41 TM223

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国家重点基础研究专项经费 (批准号G0 0 1CB30 95 )资助项目~~


INVESTIGATIONS ON THE INFRARED SPECTROMETRIC ELLIPSOMETRY OF PbZr0.52Ti0.48O3 THIN FILMS
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    用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上制备了PbZr0 .52 Ti0 .4 8O3(PZT)薄膜 .XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构 .通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为 2 .5～ 12 .6 μm范围内PZT薄膜的椭偏光谱 ,采用经典色散模型拟合获得PZT薄膜的红外光学常数 ,同时拟合得到未经处理的PZT薄膜和退火后PZT薄膜的厚度分别为 45 4.2nm和 45 0 .3nm .最后通过拟合计算得到结晶PZT薄膜的静态电荷值为 |q|=1.76 9± 0 .0 2 4.这说明在磁控溅射法制备的PZT薄膜中 ,电荷的转移是不完全的 .

    Abstract:

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    引证文献
引用本文

胡志高 赵强 黄志明 王根水 孟祥建 林铁 褚君浩. PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱研究[J].红外与毫米波学报,2003,22(1):59~62]. HU Zhi-Gao ZHAO Qiang HUANG Zhi-Ming WANG Gen-Shui MENG Xiang-Jian LIN Tie CHU Jun-Hao. INVESTIGATIONS ON THE INFRARED SPECTROMETRIC ELLIPSOMETRY OF PbZr0.52Ti0.48O3 THIN FILMS[J]. J. Infrared Millim. Waves,2003,22(1):59~62.]

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  • 最后修改日期:2002-08-11
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