TH74 TN305.7
国家自然科学基金(编号600086003)资助项目
提出了一种新的曲率倒易法首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑、单元重复性好,其平均凹深为2.643μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08μm.
何苗,易新建,程祖海,刘鲁勤,王英瑞.凹型Si微透镜阵列的制作[J].红外与毫米波学报,2002,21(1):33~36]. HE Miao YI Xin-Jian CHENG Zu-Hai. FABRICATION OF Si CONCAVE MICROLENSES ARRAY[J]. J. Infrared Millim. Waves,2002,21(1):33~36.]