TN215
国家自然科学基金(编号60086003)资助项目
基于标量衍射理论设计了8位相菲涅尔衍射微透镜阵列.利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵(256×256)PtSi红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品(单元面积为30μm×40μm).测试结果表明,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了2.0倍.
陈四海 易新建 王宏臣 孔令彬 马宏.256×256Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(5):340~342].[J]. J. Infrared Millim. Waves,2001,20(5):340~342.]