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同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制
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TH744.123 TN216

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国家自然科学基金,上海市应用物理研究中心资助


DEVELOPMENT OF INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER BY SYNCHRONOUS ROTATION OF THE POLARIZER AND ANALYZER
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    研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪，其测量波长范围为２．５～１２．５μｍ，入射角度在２０°～９０°连续可变．系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制．给出了金反射率和ＧａＡｓ体材料折射率椭偏测量，并与其它方法进行了对比，并分析了实验测量技巧和主要实验误差

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引用本文

黄志明,金世荣,陈诗伟,陈敏辉,史国良,陈良尧,褚君浩.同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制[J].红外与毫米波学报,1998,17(5):321~326]. HUANG Zhi Ming JIN Shi Rong CHEN Shi Wei CHEN Min Hui SHI Guo Liang CHEN Liang Yao CHU Jun Hao. DEVELOPMENT OF INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER BY SYNCHRONOUS ROTATION OF THE POLARIZER AND ANALYZER[J]. J. Infrared Millim. Waves,1998,17(5):321~326.]

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