用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究
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TN214

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国家自然科学基金


STUDY ON THE TECHNOLOGY OF PREPARING MICRO-INFRARED FILTER ARRAY BY MASKING AND LIFTING-OFF METHOD
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    介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本PVD方法结合而成的掩模分离方法,及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法,报道了阶段性研究结果。

    Abstract:

    The masking and lifting-off method to combine the technology of manufacturing semiconductor devices with the PVD method to prepare the micro-infrared filter is introduced. Also the method of integrating the filters is introduced, The results of the research work are reported.

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    引证文献
引用本文

程实平 张凤山.用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究[J].红外与毫米波学报,1994,13(2):109~112]. Cheng Shiping, Zhang Fengshan, Yan Yixun. STUDY ON THE TECHNOLOGY OF PREPARING MICRO-INFRARED FILTER ARRAY BY MASKING AND LIFTING-OFF METHOD[J]. J. Infrared Millim. Waves,1994,13(2):109~112.]

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