介绍了用透射光谱同时确定透明衬底上非晶硅薄膜折射率n、消光系数k和膜厚d的一种方法,给出了严格的计算公式和详细的处理步骤,并研究了硅烷辉光放电法生长的非晶硅薄膜的光学性质。
李国光,杨恒青,黄家明,陈骏逸,宗祥福.用透射光谱确定非晶硅薄膜的厚度和光学参数[J].红外与毫米波学报,1987,6(5):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1987,6(5).]