用DX-3A型扫描电镜,在100K采用EBIC技术确定了InSb多元探测器N型基底的空穴扩散长度。实验结果与Artz的EBIC模型拟合很好。根据实验得出少子扩散长度值,并讨论了少子扩散长度对光敏元间距的限制。
方晓明,汤定元,陈伯良.用EBIC测量InSb多元探测器少子扩散长度[J].红外与毫米波学报,1987,6(3):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1987,6(3).]