利用椭圆偏振光谱测得α-Si薄膜的有效介电函数,然后借助Webman等发展的、适用于四面体无定形半导体材料的有效介质理论,可以获得α-Si样品的总空位体积分数。按Webman的有效介质理论,经多次散射,光通过复介电函数分别为ε_1(λ),ε_2(λ),…,ε_i(λ),…,ε_n(λ)的n种介质组成的导质系统,有如下关系: