全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化
投稿时间:2017-07-05  修订日期:2017-08-28  点此下载全文
引用本文:李欢,杨成奥,谢圣文,黄书山,柴小力,张 宇,王金良,牛智川.全息光刻制备LC-DFB及光栅刻蚀优化[J].红外与毫米波学报,2018,37(2):140~143].LI Huan,YANG Cheng-Ao,XIE Shen-Wen,HUANG Shu-Shan,CHAI Xiao-Li,ZHANG Yu,WAGN Jin-Liang,NIU Zhi-Chuan.Laterally-coupled distributed feedback lasers with optimized gratings by holographic lithography etching[J].J.Infrared Millim.Waves,2018,37(2):140~143.]
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李欢 北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院 13522013909@163.com 
杨成奥 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室  
谢圣文 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室  
黄书山 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室  
柴小力 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室  
张 宇 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室  
王金良 北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院  
牛智川 中国科学院半导体研究所 超晶格实验室 zcniu@semi.ac.cn 
基金项目:国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目),国家重点基础研究发展计划(973计划)
中文摘要:成功制备出室温激射波长为2 μm的GaSb基侧向耦合分布反馈量子阱激光器.采用全息曝光及电感耦合等离子体刻蚀技术制备二阶布拉格光栅.优化了光栅制备的刻蚀条件,并获得室温2 μm单纵模激射.激光器输出光功率超过5 mW,最大边模抑制比达到24 dB.
中文关键词:镓锑基  侧向耦合分布反馈  LC-DFB  全息光刻  二阶布拉格光栅
 
Laterally-coupled distributed feedback lasers with optimized gratings by holographic lithography etching
Abstract:GaSb-based laterally coupled distributed feedback (LC-DFB) quantum well lasers with a wavelength of 2 μm were successfully prepared. Second order Bragg gratings are fabricated by holographic lithography and inductively coupled plasma etching (ICP). The etching conditions for grating preparation are optimized and a single longitudinal mode lasing at room temperature is obtained. The room temperature peak power output per facet exceeds 5 mW with a maximum side-mode suppression ratio of more than 24 dB.
keywords:GaSb-based, laterally coupled distributed feedback( LC-DFB), holographic lithography, second order Bragg grating
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