(英)中红外硅微透镜阵列的离焦效应研究
投稿时间:2016-06-09  最后修改时间:2016-09-08  点此下载全文
引用本文:左海杰,杨文,张江勇,应磊莹,张保平,侯治锦,陈洪许,司俊杰.(英)中红外硅微透镜阵列的离焦效应研究[J].红外与毫米波学报,2017,36(2):149~153].Haijie Zuo,Wen Yang,Jiangyong Zhang,Leiying Ying,Baoping Zhang,Zhijin Hou,Hongxu Chen,Junjie Si.Focal shift of silicon microlen array in mid-infrared regime[J].J.Infrared Millim.Waves,2017,36(2):149~153.]
摘要点击次数: 271
全文下载次数: 390
作者单位E-mail
左海杰 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室 hjzuoo@126.com 
杨文 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室  
张江勇 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室  
应磊莹 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室  
张保平 厦门大学电子工程系微纳光电子研究室 bzhang@xmu.edu.cn 
侯治锦 洛阳光电技术研究中心  
陈洪许 洛阳光电技术研究中心  
司俊杰 洛阳光电技术研究中心  
中文摘要:本文采用严格数值算法对中红外硅微透镜阵列进行了模拟,该微透镜阵列特征尺寸小于波长工作波长。研究发现该微透镜阵列存在一个显著的离焦效应,其离焦量达到0.4左右,超出了现有的传统理论模型预测范围。对微透镜阵列进行了制作和焦距测试,发现测试结果跟数值模拟基本吻合。微纳衍射光学集成系统中透镜离焦量是系统集成非常重要的一个参数,该研究结果为硅微透镜阵列和中红外探测器光学集成提供有效参考。
中文关键词:亚波长结构,FDTD,红外探测器,离焦,微透镜阵列
 
Focal shift of silicon microlen array in mid-infrared regime
Abstract:In this study rigorous numerical models were utilized to characterize the focal shift of the diffractive mid-infrared (MIR) silicon microlens array (MLA) with the critical size smaller than the working wavelength. We found a more pronounced focal shift in mid-infrared wavelength which is out of the range predicted by existing focal shift model. Focal properties of the MLA were also measured experimentally and shown to follow the simulation results. Our results provide a reference point in understanding the focal shift in MIR regime, which is important in terms of deciding the focal length of micro-nano lens systems, especially when dealing with the integration of diffractive devices in infrared optical system.
keywords:subwavelength structure  FDTD  infrared detector  focal shift  microlens array  
查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器

版权所有:《红外与毫米波学报》编辑部