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不同衬底温度生长的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜椭圆偏振光谱研究
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上海市科委基础研究重点项目，上海市科委国际合作计划项目，上海市科委研发公共服务平台建设专项?


STUDY ON THE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF La_0.5Sr_0.5CoO_3 FILMS PREPARED AT DIFFERENT SUBSTRATE TEMPERATURES
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    采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同Si(100)衬底温度下制备了La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3(LSCO)导电金属氧化物薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400～1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学性质,采用双Lorentz振子色散关系及三相结构模型(Air/LSCO/Si)拟合获得了薄膜的光学常数.结果表明,薄膜的折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见-近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大.这主要与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系.

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引用本文

李文武,李亚巍,胡志高,朱自强,褚君浩.不同衬底温度生长的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜椭圆偏振光谱研究[J].红外与毫米波学报,2009,28(6):]. STUDY ON THE SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF La_0.5Sr_0.5CoO_3 FILMS PREPARED AT DIFFERENT SUBSTRATE TEMPERATURES[J]. J. Infrared Millim. Waves,2009,28(6).]

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