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取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备
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TB34

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国家自然科学基金 ， 国家自然科学基金对外交流与合作项目 ， 高等学校博士学科点专项科研基金 ， 广东省自然科学基金 ?


SYNTHESIS OF ALIGNED CARBON NANOTUBES ARRAY BY RADIO FREQUENCY PLASMA-ENHANCED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
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    摘要:

    采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同N i(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析,用透射电子显微镜和拉曼光谱对碳纳米管进行表征.结果表明,在H2-N2气氛中热还原后硅片上的催化剂粒径均匀,排列致密,利用该法制备的碳纳米管为竹节型多壁碳纳米管,管径分布均匀,管长约5μm.碳纳米管阵列薄膜垂直于硅片衬底生长,生长排列均匀致密,具有良好的取向性.

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

陈易明,张海燕,朱清锋,陈雨婷,陈列春,杨大勇.取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备[J].红外与毫米波学报,2008,27(6):]. CHEN Yi-Ming, ZHANG Hai-Yan, ZHU Qing-Feng, CHEN Yu-Ting, CHEN Lie-Chun, YANG Da-Yong. SYNTHESIS OF ALIGNED CARBON NANOTUBES ARRAY BY RADIO FREQUENCY PLASMA-ENHANCED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION[J]. J. Infrared Millim. Waves,2008,27(6).]

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