环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件
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TN215

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HgCdTe LWIR 576×6 FPA PREPARED BY LOOPHOLE TECHNIOUE
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    碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件是高性能热像仪的核心组件.本文中作者完成了碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件的设计,利用环孔技术制备出576×6焦平面探测器芯片,经过杜瓦封装、配斯特林制冷机后成为实用的探测器组件.性能参数测试表明:典型的探测率达到1.79×1011cm Hz1/2/W,非均匀性达到14.6%,盲元率达到6.0%,并完成探测器组件的实验室演示成像.

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引用本文

姚英,庄继胜,邹继鑫,姬荣斌,朱颖峰,陈晓屏,范宏波,蔡毅.环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件[J].红外与毫米波学报,2008,27(6):]. YAO Ying, ZHUANG Ji-Sheng, ZOU Ji-Xin, JI Rong-Bin, ZHU Ying-Feng, CHEN Xiao-Ping, FAN Hong-Bo, CAI Yi. HgCdTe LWIR 576×6 FPA PREPARED BY LOOPHOLE TECHNIOUE[J]. J. Infrared Millim. Waves,2008,27(6).]

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