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单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制
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TN215;O484

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中国科学院预研项目


DEVELOPMENT OF MONOLITHIC 128×1 UN-COOLED VANADIUM OXIDE MICRO-BOLOMETER FOCAL PLAN ARRAY
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    采用氧化钒薄膜、低应力介质膜和CMOS读出电路技术,研制了单片式128×1非致冷焦平面.氧化钒薄膜的制备采用了一种新的方法,焦平面的信号读出采用了CTIA积分方式.应用一种双频PECVD技术制备了低应力氮化硅薄膜,有效改善了微桥的平整度.通过氮化硅和氧化钒薄膜自身的红外吸收,焦平面在8～14μm波段的平均响应率达到8.2 ×104V/W,平均D·达到2.3×108 cmHz1/2/w.焦平面的均匀性需要进一步改善.

    Abstract:

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    引证文献
引用本文

陈永平,刘强,施永明,唐成伟,梁平治.单片式128×1氧化钒微测辐射热计非致冷焦平面的研制[J].红外与毫米波学报,2007,26(5):336~339]. CHEN Yong-Ping, LIU Qiang, SHI Yong-Ming, TANG Cheng-Wei, LIANG Ping-Zhi. DEVELOPMENT OF MONOLITHIC 128×1 UN-COOLED VANADIUM OXIDE MICRO-BOLOMETER FOCAL PLAN ARRAY[J]. J. Infrared Millim. Waves,2007,26(5):336~339.]

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  • 最后修改日期:2006-12-29
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