双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作
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TN216

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自然科学重点基金(10232030)、基金(50076040和10472111)资助项目


BIMATERIAL MICRO-CANTILEVER UNCOOLED INFRARED IMAGING SYSTEM--DESIGN AND FABRICATION OF MICRO-CANTILEVER ARRAY
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    给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.

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引用本文

董凤良 张青川 伍小平 潘亮 郭哲颖 陈大鹏 王玮冰 段志辉.双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作[J].红外与毫米波学报,2005,24(6):409~413]. DONG Feng-Liang~,ZHANG Qing-Chuan~,WU Xiao-Ping~,PAN Liang~,GUO Zhe-Ying~,CHEN Da-Peng~,WANG Wei-Bing~,DUAN Zhi-Hui~. BIMATERIAL MICRO-CANTILEVER UNCOOLED INFRARED IMAGING SYSTEM--DESIGN AND FABRICATION OF MICRO-CANTILEVER ARRAY[J]. J. Infrared Millim. Waves,2005,24(6):409~413.]

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  • 收稿日期:2004-11-15
  • 最后修改日期:2005-05-16
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